介绍了低压硼扩散炉的工作原理，研究了负压硼扩散炉中源流量，源瓶压力，大氮流量，反应压力等工艺参数对方块电阻及均匀性的影响，分析了负压硼扩散炉较常压硼扩散炉在工艺方面的优势。

【干货】低压硼扩散炉工艺研究

栏目：产品材料 更新：2023-12-23 00:41 浏览：41

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